奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡

通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的***度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
 

[常見(jiàn)問(wèn)題] 
短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。
由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
 

[STM7解決方案]
共有四種*的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以測(cè)量物鏡或金相物鏡，無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式，無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*的觀察方法。
 

測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。

金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。

奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡規(guī)格

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離